成型品: 模式面积 30mmx30mm, 交纳期间 两个星期左右
模子样品: 模式面积 30mmx30mm, 交纳期间 两个月左右
(1) Ni molds
Sample1 (WD11.9mm 5.00kVx5.0k 10µm) |
Sample2 (WD11.8mm 5.00kVx5.0k 10µm) |
Sample3 (WD11.4mm 5.00kVx5.0k 10µm) |
(2) Si masters
Sample4 (WD11.0mm 5.00kVx3.0k 10µm) |
Sample5 (WD10.9mm 5.00kVx3.0k 10µm) |
Sample6 (WD10.3mm 5.00kVx3.0k 10µm) |
(3) Resist masters
Sample7 (WD10.3mm 5.00kVx5.0k 10µm) |
Sample8 (WD10.2mm 5.00kVx5.0k 10µm) |
Sample9 (WD9.9mm 5.00kVx5.0k 10µm) |
Sample10 (WD8.0mm 5.00kVx5.0k 10µm) |
* Test after Si etch
Sample11 (WD8.1mm 5.00kVx10k 5µm) |
压头详细和加工样品 (PDF)
玻璃压印加工样品 (承包)
模子样品 (承包)
石英基板承包加工样品
纳米压印设备
研究开发用MEMS血流量传感器
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